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针对亚波长光栅的共振特性，设计了一种基于法诺共振的亚波长光栅并研究了其共振特性。利用光学模拟软件FDTD solutionS对该光栅结构进行数值模拟，在可见光波段，对影响光栅性能的周期、折射率、占空比等光栅参数进行了研究，从而得到了一种共振强度高、谱线精细、共振峰位置可控的法诺共振谱线。该研究成果可用来研制1nm精度的光谱滤波器。
关键词：亚波长光栅;法诺共振;可见光波段
中图分类号：O436.1 文献标志码：A
引言
亚波长光栅，也称作零级光栅，因具有极高的空间频率和极高的灵敏度，一直备受科研工作者的关注。基于导模共振的亚波长光栅以其带宽窄、衍射效率高和结构简单等优点，在光谱学、光通信等领域获得极大的发展。近年来，人们发现法诺共振在亚波长光栅上也具有广泛和潜在的应用价值。与导模共振相比，法诺共振具有更强烈的近场增强和更精细的光谱，有更高的传感品质因子，因此广泛应用于生物传感、非线性效应、光谱增强、全光开关、电光调制、慢光传输等方面。
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